鹏芯微取得研磨头清洗组件以及抛光机台专利, 喷射柱状清洗液以及调节喷射角度
金融界2025年7月7日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司取得一项名为“研磨头清洗组件以及抛光机台”的专利,授权公告号CN223057444U,申请日期为2024年08月。
专利摘要显示,本公开实施例公开了一种研磨头清洗组件以及抛光机台,所述研磨头清洗组件被配置为与研磨头沿第一方向对准并清洗所述研磨头,所述研磨头设置有膜片和位于所述膜片边缘且围绕所述膜片的扣环,所述膜片与所述扣环之间具有缝隙,所述研磨头清洗组件包括:第一喷头,与所述扣环对应;第二喷头,与所述缝隙对应,第三喷头,与所述膜片对应;其中,所述第二喷头被配置为:喷射柱状清洗液,以及调节喷射角度。
天眼查资料显示,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目16次,财产线索方面有商标信息50条,专利信息44条,此外企业还拥有行政许可212个。
本文源自:金融界